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大尺寸光罩

更新：2017-06-28 瀏覽：

主要應(yīng)用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業(yè)；HDI、FPC等PCB行業(yè)。

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產(chǎn)品介紹

名稱：大尺寸光罩

材料：Soda Lime Glass、Quartz

規(guī)格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm

應(yīng)用：PCB行業(yè)、平板顯示行業(yè)

詳情介紹

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

主要應(yīng)用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業(yè)；HDI、FPC等PCB行業(yè)。

Applications：

Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.

鉻版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）

精度 / 級(jí)別 Items / Class	最高精度 Grade 1	高精度 Grade 2	中精度 Grade 3	一般精度 Grade 4
最小線寬/線縫 Min.Line/Space Width	1.0μm/1.0μm	5μm/5μm	10μm/10μm	20μm/20μm
線條精度 CD Control	±0.15μm （QZ）	±0.5μm	±1.0μm	±2.0μm
總長精度 Total Pitch Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±2.0μm
圖形位置精度 Registration Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±3.0μm
套合精度 Overlay Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±3.0μm
垂直精度 Orthogonality	±0.75μrad	±2.0μrad	±3.0μrad	±4.0μrad

鉻版材料 Substrate(Photomask blank phate)

材料 Material	Soda Lime Glass、Quartz
最大尺寸Max. Size	1100mm×1100mm
常規(guī)尺寸Normal Size	406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm, 609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
厚度 Thickness	2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm 5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
鉻膜 Film Type	Low Reflectance Chrome
光學(xué)密度Optical Density（λ=450nm）	Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
反射率Reflectivity（λ=436nm）	Between Plates10±5% In Plate±2%

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